電子束煙氣脫硫工藝是一種物理方法和化學方法相結(jié)合的高新技術。本工藝的流程是由排煙預除塵、煙氣冷卻、氨的沖入、電子束照射和副產(chǎn)品捕集工序組成。鍋爐所排出的煙氣，經(jīng)過集塵器的粗濾處理之后進入冷卻塔，在冷卻塔內(nèi)噴射冷卻水，將煙氣冷卻到適合于脫硫、脫硝處理的溫度（約70℃）。煙氣的露點通常約為50℃，被噴射呈霧狀的冷卻水在冷卻塔內(nèi)完全得到蒸發(fā)，因此，不產(chǎn)生任何廢水。通過冷卻塔后的煙氣流進反應器，在反應器進口處將一定的氨氣、壓縮空氣和軟水混合噴入，加入氨的量取決于SO_x和NO_x濃度，經(jīng)過電子束照射后，SO_x和NO_x在自由基的作用下生成中間物硫酸和硝酸。然后硫酸和硝酸與共存的氨進行中和反應，生成粉狀顆粒硫酸銨和硝酸銨的混合體。

該工藝的反應機理為：

N₂、O₂、H₂O→·OH、·O、H₂O·、N·

SO₂+2·OH→H₂SO₄

SO₂+·O+H₂O·→H₂SO₄

NO_x+·O+·OH→HNO₃

H₂SO₄+NH₃→(NH₄)₂SO₄

HNO₃+NH₃→NH₄NO₃

反應所生成的硫酸銨和硝酸銨混合微粒被副成品集塵器所分離和捕集，經(jīng)過凈化的煙氣升壓后向大氣排放。

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