1 總則

1.1 為有效防治電子與半導(dǎo)體元器件行業(yè)污染物對(duì)環(huán)境的污染，引導(dǎo)和規(guī)范本行業(yè)污染防治，推進(jìn)國(guó)家電子與半導(dǎo)體元器件行業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化調(diào)整，根據(jù)《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》、《中華人民共和國(guó)水污染防治法》、《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》、《中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治法》等法律、法規(guī)，以及《國(guó)務(wù)院關(guān)于落實(shí)科學(xué)發(fā)展觀 加強(qiáng)環(huán)境保護(hù)的決定》和《國(guó)務(wù)院關(guān)于把編制全國(guó)主體功能區(qū)劃的意見》等文件的精神，為加強(qiáng)對(duì)電子與半導(dǎo)體元器件行業(yè)廢水廢氣固廢排放的控制，特制定本技術(shù)政策。

本技術(shù)政策將隨社會(huì)經(jīng)濟(jì)、技術(shù)水平的發(fā)展適時(shí)修訂。

1.2 本技術(shù)政策以國(guó)家有關(guān)法律法規(guī)和國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)體系為指導(dǎo)，結(jié)合該行業(yè)的發(fā)展規(guī)劃，根據(jù)行業(yè)的污染現(xiàn)狀、清潔生產(chǎn)水平而制定，對(duì)電子和半導(dǎo)體元器件行業(yè)生產(chǎn)全過(guò)程的實(shí)施污染防治、環(huán)境監(jiān)督與管理，適應(yīng)“十二五”發(fā)展目標(biāo)的需要。

2 目標(biāo)與原則

2.1對(duì)電子與半導(dǎo)體元器件行業(yè)要求采用新技術(shù)新工藝，減少能源消耗，實(shí)行污染物最小量化的清潔生產(chǎn)，完善綜合治理設(shè)施，從而保護(hù)環(huán)境且節(jié)省廢水、廢氣和固體廢物處理的投資及運(yùn)行費(fèi)用。

2.2采用先進(jìn)、成熟的水污染防治技術(shù)，水污染物排放達(dá)到行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)要求，并滿足污染物排放總量控制要求。

2.3加強(qiáng)大氣污染防治，確保大氣污染物達(dá)標(biāo)排放，減少?gòu)U氣無(wú)組織排放。

2.4廢水、廢氣及固體廢物的處理處置應(yīng)考慮生物安全性因素。

2.5新建電子與半導(dǎo)體元器件行業(yè)合理選址，鼓勵(lì)在工業(yè)園區(qū)內(nèi)建設(shè)。廢水中有毒有害污染物應(yīng)在車間排放口之前處理，達(dá)到國(guó)家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，并滿足園區(qū)公共污水處理系統(tǒng)進(jìn)水要求后，進(jìn)入園區(qū)污水處理廠。

3 清潔生產(chǎn)技術(shù)和工藝

3.1鼓勵(lì)在生產(chǎn)中重復(fù)使用投入的原料以及降低水消耗量。

3.2鼓勵(lì)設(shè)備與技術(shù)更新、工藝與流程更新、產(chǎn)品的重組與設(shè)計(jì)更新、原材料的替代以及促進(jìn)生產(chǎn)的科學(xué)管理、維護(hù)、培訓(xùn)或倉(cāng)儲(chǔ)控制。

3.3鼓勵(lì)在生產(chǎn)過(guò)程中采用自動(dòng)控制系統(tǒng)和生產(chǎn)監(jiān)控系統(tǒng)。

3.4鼓勵(lì)采用膜分離、萃取、吸附，以及多效蒸發(fā)、熱泵等技術(shù)回收廢水中的重金屬類物質(zhì)和降低能耗。

3.5鼓勵(lì)回收和再利用廢氣和固體廢物中有用物質(zhì)。

3.6減少有毒有害危險(xiǎn)化學(xué)品的使用，或以低毒、低害化學(xué)品代替高毒、高害化學(xué)品。

3.7應(yīng)加強(qiáng)制水設(shè)備排水、循環(huán)水排水、蒸汽凝水的回收利用。

4 末端治理技術(shù)

電子與半導(dǎo)體元器件行業(yè)污染物末端治理整體上應(yīng)按照污染物的類型進(jìn)行分類收集，鼓勵(lì)末端治理工程專業(yè)化運(yùn)營(yíng)，交由專業(yè)化運(yùn)營(yíng)單位進(jìn)行運(yùn)營(yíng)管理，確保污染物治理的效果。

4.1水污染防治技術(shù)

4.1.1酸堿廢水

酸堿廢水在排放水體或進(jìn)行生物處理或化學(xué)處理之前，必須進(jìn)行中和，使廢水PH值達(dá)到6.5-8.5的排放標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于酸堿物質(zhì)濃度高達(dá)3%-5%的廢水，應(yīng)首先考慮其回收回用。酸堿廢水應(yīng)采用酸堿廢水相互中和、投藥中和或過(guò)濾中和方法；堿性廢水還應(yīng)考慮煙道氣中和方法。中和時(shí)，要綜合考慮有用組分的回收，降低重金屬、氟、COD等有害成分的降低。

4.1.2含氟廢水

含氟廢水應(yīng)采用鈣鹽沉淀法，鼓勵(lì)采用可溶性鈣鹽或鈣鹽與鎂鹽、鋁鹽或鹽酸鹽聯(lián)合使用處理含氟廢水。

4.1.3含金屬（包括銅）廢水

金屬?gòu)U水的處理宜采用化學(xué)沉淀法，鼓勵(lì)采用膜分離、萃取、吸附、置換法對(duì)廢水中的重金屬進(jìn)行回收利用以及廢液的回用。

4.1.4有機(jī)廢水

有機(jī)廢水應(yīng)采用生物法處理。生物法包括好氧生物處理和厭氧生物處理兩大類。好氧生物處理可選擇生物接觸氧化法、序批式間歇活性污泥法(SBR)及其變形工藝、流動(dòng)床生物膜法（MBBR）等。厭氧生物處理可選擇升流式厭氧污泥床(UASB)反應(yīng)器、厭氧復(fù)合床(UBF)反應(yīng)器、厭氧膨脹顆粒污泥床（EGSB）反應(yīng)器、厭氧折流板反應(yīng)器（ABR）等。高濃度有機(jī)廢水可選擇焚燒法，焚燒法要考慮到大氣污染，優(yōu)先送專業(yè)焚燒廠焚燒。

4.1.5含氨廢水

含氨廢水的處理方法宜采用次氯酸鈉氧化法、吹脫法、蒸氨法、硝化反硝化法等。采用吹脫法、蒸氨法，要考慮到氨的吸收回用，防止氨對(duì)大氣的污染。

4.1.6氰化物廢水
氰化物廢水宜先分別收集，然后堿化，再加以氧化處理。氧化處理方法包括：氯氧化法、次氯酸根氧化法、臭氧氧化法、曝氣法、電解氧化法法。

4.2大氣污染防治技術(shù)

4.2.1酸/堿性廢氣處理

酸/堿性廢氣的處理應(yīng)采用濕式洗滌塔技術(shù)。對(duì)于酸性廢氣使用5-10%的氫氧化鈉或水或石灰乳、石灰石作為吸附劑，通過(guò)吸收劑與廢水接觸發(fā)生物理（溶解）或（化學(xué)（中和）反應(yīng)，取出廢氣中的酸性物質(zhì)。對(duì)于堿性物質(zhì)通常用以硫酸或水作為吸收劑。酸/堿性廢氣的處理應(yīng)當(dāng)與廢水處理綜合考慮，優(yōu)先用廢水做吸收劑。

4.2.2 VOCs處理

VOCs的控制技術(shù)可以采用催化燃燒法、吸收法、吸附法：鼓勵(lì)采用生物凈化技術(shù)、低溫等離子凈化技術(shù)和光催化氧化技術(shù)處理VOCs。

4.2.3有毒有害廢氣處理

有毒有害廢氣的處理應(yīng)進(jìn)行“源頭處理”（POU），即在使用這種氣體的設(shè)備處進(jìn)行處理，處理方法可以采用燃燒法、裂解法、化學(xué)吸附法。
 
4.3 固體廢物處置和綜合利用

4.3.1高濃度釜?dú)堃簯?yīng)作為危險(xiǎn)廢物處置，不宜進(jìn)入廢水中。

4.3.2廢棄的電子和半導(dǎo)體元器件、廢試劑原料等應(yīng)集中回收后處置，鼓勵(lì)對(duì)其中的銅等金屬及其它有用物質(zhì)進(jìn)行回收利用。集中回收處置的技術(shù)方法以及工程設(shè)計(jì)要經(jīng)過(guò)環(huán)保部門以及原件行業(yè)的評(píng)審，建成后經(jīng)過(guò)驗(yàn)收才可投入使用。

4.3.3處理過(guò)程中產(chǎn)生的廢活性炭應(yīng)優(yōu)先回收再生利用，或作為危險(xiǎn)廢物處置。危險(xiǎn)廢物應(yīng)遵照《中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治法》進(jìn)行登記，交地方危險(xiǎn)廢物處理機(jī)構(gòu)處理。

4.3.4 廢水處理過(guò)程產(chǎn)生的含銅等重金屬的污泥應(yīng)作為危險(xiǎn)廢處理進(jìn)行處理，鼓勵(lì)對(duì)含重金屬污泥進(jìn)行資源回收利用。

5 二次污染防治

5.1 廢水厭氧生化處理過(guò)程中產(chǎn)生的沼氣，宜回收并脫硫后綜合利用，禁止直接放散。

5.2 廢水處理過(guò)程中產(chǎn)生的剩余污泥，應(yīng)按照《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》進(jìn)行識(shí)別，識(shí)別為危險(xiǎn)廢物的應(yīng)交專業(yè)有毒有害廢物處理（管理）部門處理；識(shí)別為非危險(xiǎn)廢物的可用于生產(chǎn)有機(jī)肥料或衛(wèi)生填埋，也可作為污水生物處理反應(yīng)器的啟動(dòng)污泥外售。

5.3廢氣處理過(guò)程中產(chǎn)生的廢液或

廢固應(yīng)進(jìn)行相應(yīng)的妥善處理，禁止直接放散。有機(jī)溶劑廢氣處理過(guò)程中產(chǎn)生的吸附過(guò)濾物及載體，如廢活性炭等，應(yīng)作為危險(xiǎn)廢物處置。

5.4 廢物資源回收后的殘余物料應(yīng)妥善處置，不得對(duì)環(huán)境造成二次污染。

6 鼓勵(lì)研究、開發(fā)的技術(shù)

6.1 鼓勵(lì)運(yùn)用膜分離等技術(shù)對(duì)廢水中重金屬類污染物進(jìn)行回收。

6.2 鼓勵(lì)開發(fā)、應(yīng)用生物凈化、低溫等離子凈化和光催化氧化等技術(shù)處理VOCs。

6.3 鼓勵(lì)研制開發(fā)投資小、能耗低、運(yùn)行費(fèi)用少、處理效率高的廢水處理技術(shù)。

6.4 鼓勵(lì)應(yīng)用活性炭吸附回收廢有機(jī)溶劑。

7 運(yùn)行管理

7.1 環(huán)境管理制度

7.1.1電子和半導(dǎo)體元器件企業(yè)應(yīng)制定環(huán)保管理規(guī)章制度，確定各種污染物排放控制指標(biāo)及污染防治設(shè)施運(yùn)轉(zhuǎn)控制指標(biāo)，并定期統(tǒng)計(jì)、考核。

7.1.2建立環(huán)境檔案，包括環(huán)境影響評(píng)價(jià)，污染防治設(shè)施竣工驗(yàn)收，污染源調(diào)查與監(jiān)測(cè)，污染防治設(shè)施設(shè)計(jì)、技術(shù)改進(jìn)及運(yùn)行，環(huán)境監(jiān)測(cè)等資料。

7.1.3制定日常監(jiān)測(cè)計(jì)劃，進(jìn)行日常監(jiān)測(cè)，并將監(jiān)測(cè)結(jié)果上報(bào)環(huán)境保護(hù)管理部門；設(shè)置主要污染物連續(xù)或自動(dòng)監(jiān)測(cè)裝置，實(shí)現(xiàn)與環(huán)境保護(hù)行政主管部門聯(lián)網(wǎng)。

7.2 日常運(yùn)行維護(hù)

7.2.1做好污染防治設(shè)施的檢修維護(hù)、環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)，確保監(jiān)測(cè)工作正常進(jìn)行。

7.2.2危險(xiǎn)廢物的產(chǎn)生、收集、運(yùn)輸、分類、檢測(cè)、綜合利用、貯存和處理處置等全過(guò)程污染防治需按照《危險(xiǎn)廢物污染防治技術(shù)政策》相關(guān)要求執(zhí)行。

7.3 人員培訓(xùn)

加強(qiáng)環(huán)境保護(hù)教育和宣傳，提高員工的環(huán)境保護(hù)意識(shí)；加強(qiáng)技術(shù)培訓(xùn)，提高環(huán)保工作人員的業(yè)務(wù)素質(zhì)。

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