真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。它包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。

隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。且隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中，對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多都是需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求。由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)會(huì)通過(guò)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)的方法，以機(jī)組型式應(yīng)用。伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，近幾年我國(guó)真空泵行業(yè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定發(fā)展的模式。

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