干式螺桿真空泵介紹 
MAHA變螺距干式羅桿真空泵，設計緊湊，運行高效。螺桿與軸一體加工，最顯著的特點是無需密封液，從而避免了密封液對介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設計不同，而是采用了專利的可變螺距設計，可節(jié)省30％的能量，氣體排放溫度更低，從而無須冷卻凈化。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達0.005Torr。MAHA系列結(jié)構緊湊，高效節(jié)能的螺桿式真空泵。該泵的最大特點是螺桿變螺距設計，該泵比其他競爭者的干泵節(jié)能達30%以上，排出的氣體溫度也更低。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無水無油，直通氣路設計，MAHA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體。

螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。這種類型的泵如果選用適當?shù)妮^簡單螺桿牙型截面，則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。
  MAHA變螺距真空泵，異形螺桿真空泵與MAHA等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結(jié)構。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過聯(lián)軸節(jié)與主動轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構對排除含微塵氣體較為有利。
MHSP干式螺桿真空泵運轉(zhuǎn)時泵腔內(nèi)完全無水無油，由于是直通氣路設計，MHDP和MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體。由于泵腔內(nèi)沒有金屬與金屬間的接觸，磨損也就大大減少了。MAHA真空泵MHSP   SHHP和MHDP干式螺桿泵都是水冷系統(tǒng).
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干式螺桿真空泵的典型應用：
  • 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
  • 半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
  • 除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求
  • 在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵
  • 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染
  • 化學和醫(yī)藥流程
  • 溶劑回收
  • 成型
  • 結(jié)晶
  • 干刻
  • 濺鍍
  • 蒸氣回收>

…..空中模擬

>MAHA干式螺桿真空泵的特點優(yōu)點
 
 1.MHDP等距干式螺桿真空泵

 MHDP泵是等螺距設計，可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbara），極限真空可達0.005Torr（0.008mbara）在運轉(zhuǎn)過程中沒有油或水，泵腔無部分接觸，簡單，堅固的設計可以處理工作中的副產(chǎn)品一液體，冷凝物，甚至小顆粒，短氣通道可以使泵迅速排放，直接驅(qū)動或V皮帶有加長的轉(zhuǎn)子，操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全水無油，直通氣路設計，MHDP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體。主要特點：

沒有油或水和過程氣體接觸
運行部件之間無金屬相互接觸
簡單緊固的設計可以處理工作時產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
節(jié)省空間的C型發(fā)動機設計除去了連軸器和防護裝置的需要
泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
 

   型號        CFM/m3/h           HP/k W
MHDP-150     120/150           5/4
MHDP-330     270/330           9/7
MHDP-400     330/400           20/15
MHDP-800     660/780           26/20

2.MHSP變螺距干式螺桿真空泵

MHSP變螺距干式羅茨真空泵，設計緊湊，運行高效。最顯著的特點是無需密封液，從而避免了密封液對介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設計不同，而是采用了專利的可變螺距設計，提高了效率，降低了排出氣體溫度,從而無須冷卻凈化,可節(jié)省30％的能量，這是該泵的最大特點。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達0.01Torr（0.013mbar a）。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無水無油，直通氣路設計，MHSP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體

MHSP主要特點：
  •  沒有油或水和過程氣體接觸
  •  運行部件之間無金屬相互接觸
  •  簡單緊固的設計可以處理工作時產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
  •  節(jié)省空間的C型發(fā)動機設計除去了連軸器和防護裝置的需要
  •  泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
  •  即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)

 變螺距型號            CFM/m3/h             HP/k W

MHSP-40        40             5/3.7
MHSP-80         80                 5 /3.7
MHSP -150      120/150               5 /3.7
MHSP -320       270/320              10 /7.5
MHSP -450       370/450              15 /11
MHSP - 800     660/800              20 /15
MHSP -1500     1300/1500            50 /37
MHSP -3000    2500/3000            75 /55

異形螺距型號        CFM/m3/h           HP/k W
MHHP-310             310              15/11.5
MHHP-600            600                25/19

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