幾種芯片廢水處理技術(shù)的探討
更新時(shí)間：2012-04-11 17:22
來源：上海環(huán)境科學(xué)
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摘要：國內(nèi)芯片制造業(yè)的飛速發(fā)展，芯片生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水也是各企業(yè)所面臨的一個(gè)問題。文章結(jié)合工程實(shí)例，簡要介紹了芯片廢水中污染物的分類及來源，著重探討了含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水和酸堿廢的處理工藝，以期為芯片廢水處理的同仁提供參考。
關(guān)鍵詞：芯片廢水，處理工藝
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