電子行業(yè)超純水凈化工程
電子、半導(dǎo)體工業(yè)的芯片生產(chǎn)在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。此外,晶元清洗和機械碾磨過程中都會產(chǎn)生廢水,造成對環(huán)境的污染。
某公司通過使用超濾、反滲透、EDI和核子級離子交換系統(tǒng)來生產(chǎn)滿足需求的超純水。并將生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的廢水經(jīng)過膜系統(tǒng)的處理進行回收再利用,在很大程度上減少了電子、半導(dǎo)體行業(yè)的用水量、降低了生產(chǎn)成本。
傳統(tǒng)與高科技膜法制備超純水處理流程比較
高科技膜法制備工業(yè)超純水
微電子行業(yè)包括了電解電容器生產(chǎn)、電子管生產(chǎn)、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、液晶顯示器的生產(chǎn)、晶體管生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、電子新材料生產(chǎn)等生產(chǎn)工藝,都需要工業(yè)超純水。傳統(tǒng)化學(xué)及介質(zhì)過濾生產(chǎn)超純水的方法,會因在水中添加各種化學(xué)劑,制備過程冗長等各種因素造成產(chǎn)水的不穩(wěn)定,無法確保長期、穩(wěn)定的超純水。
某公司采用“物理”凈化法(超濾→反滲透→EDI→拋光混床),使超純水制備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器等發(fā)生了一次革命,從此進入了一個無需再生化學(xué)品的時代。高科技膜法制備出來的工業(yè)純水,其純度可達到18MΩ·CM,且系統(tǒng)穩(wěn)定,使用壽命長,且生產(chǎn)過程所產(chǎn)生的廢水又可回用再生。目前,國家經(jīng)委也已將膜法成套技術(shù)的應(yīng)用列入國家重點推廣范圍。
法馬通連接器(中國)有限公司
項目內(nèi)容:電子廢水回用系統(tǒng)及超純水系統(tǒng)交鑰匙工程,廢水回用系統(tǒng)產(chǎn)水作為電子超純水系統(tǒng)的部分水源。處理水量:廢水回用1,800 噸/天,超純水3,600噸/天。
上海莫仕連接器有限公司
項目內(nèi)容:純水系統(tǒng),處理量:1728噸/天。
西門子Matsushita有限公司
項目內(nèi)容:設(shè)計、提供并安裝半導(dǎo)體超純水系統(tǒng) (18.2兆歐),處理量:1200噸/天。
高德電子(蘇州)有限公司
項目內(nèi)容:純水系統(tǒng)、廢水回用系統(tǒng),處理量:4368噸/天。
深圳天馬微電子股份有限公司
項目內(nèi)容:純水系統(tǒng),處理量:600噸/天。
廣西賀州宏力電子有限公司
項目內(nèi)容:軟水系統(tǒng):1680噸/天;純水系統(tǒng):1200噸/天;超濾系統(tǒng):2400噸/天。
尚德太陽能電力有限公司
項目內(nèi)容:純水系統(tǒng)
上海松下等離子顯示器有限公司
項目內(nèi)容:純水系統(tǒng)
上海廣電液晶顯示器有限公司
項目內(nèi)容:純水系統(tǒng)
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