1. 等離子體取樣質譜儀 （雙頻CCP放電在線診斷）
   
        靈敏度高，極穩(wěn)定的3級過濾四極桿，脈沖離子計數(shù)檢測器，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍，能量分析，互鎖裝置可提供過壓保護。分析等離子過程中的離子能量、質量分布和中性粒子質量分布。

2.高性能等離子體光譜測量系統(tǒng)SP2500i
   
        設備可以檢測從紫外到近紅外的發(fā)射光譜；主要配備有：焦距為500 mm的雙輸出光譜儀單色儀；三塊光柵；光譜專用背感光高靈敏度CCD；紫外、可見到近紅外光電倍增管及其附屬管套高壓電源及分壓器；檢測光纖；相應的輸入與輸出光路?？梢杂霉怆姳对龉茌敵觯玫礁叩姆直媛?，也可以用CCD輸出，可以得到高信燥比并且可以瞬時對比較寬的光譜范圍進行取樣，降低信號波動帶來的誤差。設備可以用于大氣壓與低氣壓等離子體物理特性的研究，采集微弱信號的光譜，也可以用于精細光譜的測量，如分子的轉動光譜。這對于像大氣壓放電弱等離子體中的成分及相對含量研究以及等離子體溫度光譜測量都是非常有益的。

3.等離子體激光診斷系統(tǒng)

        Plasma-master可以對各種放電形式的等離子體進行時間、空間分辯的光學照相診斷，還可以進行空間分辯的發(fā)射光譜（OES）、激光誘導熒光（LIF）光譜和激光散射光譜診斷。

        主要參數(shù)：空間分辯率為0.2mm，時間分辯率5ns, 光譜學波長范圍 200~1100nm, 激光波長掃描范圍220nm~650nm, 探測靈敏度10ppb

4.強流脈沖電子束裝置（低能電子炮）

是一種特殊的電物理裝置，它能產(chǎn)生短脈沖、高能量、強流電子束，用于金屬、半導體材料表面改性、表面強化、合金化、清洗及表面熔覆、快速淬火等。
 

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