KIKI SEISAKUSYO燃燒式Local Scrubber尾氣處理設(shè)備
 |
人氣：7492 發(fā)布時(shí)間：2009-01-15 16:14 關(guān)鍵詞：其它 產(chǎn)品型號(hào)： 應(yīng)用領(lǐng)域：大氣控制 產(chǎn)品價(jià)格：面議 想了解更多產(chǎn)品詳情，請 |
新一代燃燒式Local Scrubber尾氣處理設(shè)備
新型薄膜太陽能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程專用燃燒式尾氣處理設(shè)備。
NITSU新型燃燒式薄膜CVD制程尾氣處理設(shè)備, 為日本『木麒制作所』KIKI SEISAKUSYO累積多年經(jīng)驗(yàn)及制作研發(fā)上的深厚基礎(chǔ)上, 參酌最新世界安全規(guī)范, 評(píng)鑒過往美日業(yè)界同類型機(jī)發(fā)展的得失后, 開發(fā)出近年來最適用于非晶硅薄膜太陽能電池、新世代液晶顯示器等PECVD制程尾氣處理的新型燃燒式處理設(shè)備。
 |
NITSU燃燒式尾氣處理設(shè)備的用途
可處理氣體種類包括非晶硅薄膜太陽能電池、新世代液晶顯示器等PECVD制程中產(chǎn)生的廢氣。
NITSU燃燒式尾氣處理設(shè)備的主要特點(diǎn)
1. 全機(jī)整體新思維安全設(shè)計(jì), 高安全標(biāo)準(zhǔn)自我診斷異常及意外預(yù)防應(yīng)對(duì)規(guī)格, 同時(shí)通過了德國TUV最新SEMI S2,
SEMI S8, EN 60204-1: 2006認(rèn)證。
2．獨(dú)特渦流火焰燃燒器, 擁有處理量特大﹑處理效率優(yōu)異﹑及長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)之最高穩(wěn)定信賴性。
3．CH4﹑C3H8雙燃料機(jī)型, 具燃料節(jié)約控制設(shè)計(jì), 符合經(jīng)濟(jì)節(jié)能與環(huán)保要求。
4．良好機(jī)械架構(gòu)設(shè)計(jì)與人機(jī)界面程序, 操作容易上手、停機(jī)保養(yǎng)頻率低、保養(yǎng)簡單快速、零料件經(jīng)久耐用等眾多優(yōu)點(diǎn).
5．燃燒反應(yīng)室可定時(shí)自動(dòng)清潔, 長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)效率穩(wěn)定, 特別適合應(yīng)用于非晶硅薄膜太陽能電池、大尺寸液晶生產(chǎn)等之高SiH4、 PH3及NF3、SF6氣體使用, 并大量產(chǎn)出SiO2、P2O5易衍生粉塵堆積及大量高濃度HF酸腐蝕氣體的PECVD制程尾氣處理。
 |
NITSU優(yōu)質(zhì)的客戶服務(wù)
日本木麒制作所提供薄膜太陽能電池及新世代液晶PECVD的尾氣處理系統(tǒng), 主要包括有:
(1) 榮獲德國TUV 認(rèn)證的新型燃燒式CVD尾氣處理設(shè)備 NITSU
(2) 集中處理型彈匣式過濾材粉塵集塵機(jī)Cartridge Filter type Particle Collector
(3) 集中處理型酸排氣水洗處理設(shè)備Central Wet Scrubber
上海懷利環(huán)保設(shè)備有限公司榮獲 Kiki 日本木麒原廠技術(shù)認(rèn)證授權(quán), 專注服務(wù)大中華區(qū)所有薄膜太陽能電池及大尺寸液晶TFT-LCD制造廠客戶, 提供系統(tǒng)設(shè)備自規(guī)劃、選機(jī)、承包施工、安裝試車及全年保養(yǎng)維修、充裕零料件完整庫存的全面性整體專業(yè)服務(wù)。
