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北京萬侯環(huán)境技術(shù)開發(fā)有限公司

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北京萬侯微電子超純水處理技術(shù)

             來源:北京萬侯環(huán)境技術(shù)開發(fā)有限公司 閱讀:1917 更新時(shí)間:2011-04-08 17:11

超純水處理

超純水系統(tǒng)分為預(yù)處理、反滲透系統(tǒng)、精脫鹽系統(tǒng)及產(chǎn)品水儲(chǔ)存輸送系統(tǒng)等部分。

設(shè)計(jì)原則

1.操作安全、運(yùn)行穩(wěn)定、易于管理

2.具備完善、可靠的自我保護(hù)功能

3.具備良好的故障恢復(fù)性能

4.具備最佳運(yùn)行狀態(tài)重現(xiàn)性

系統(tǒng)階段質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(25°C)

1.一級(jí)反滲透產(chǎn)水電阻率 ρ>0.1MΩ.cm

2.二級(jí)反滲透產(chǎn)水電阻率 ρ>1.0MΩ.cm

3.EDI電脫鹽產(chǎn)水電阻率 ρ>15.0MΩ.cm

4.產(chǎn)品水電阻率 ρ>18.0MΩ.cm

系統(tǒng)階段性能

1.一級(jí)反滲透RO系統(tǒng)水利用率 ≥75%

2.二級(jí)反滲透RO系統(tǒng)水利用率 ≥85%

3.EDI電脫鹽系統(tǒng)水利用率 ≥90%

4.產(chǎn)品水電阻率 >18.0MΩ.cm

5.RO膜使用壽命不低于3年,三年后RO膜脫鹽率>95%

EDI膜塊使用壽命不低于3年

流程圖

主要設(shè)備索引

多介質(zhì)過濾器

活性炭過濾器

精密過濾器

全自動(dòng)軟水器

RO反滲透膜

混床

UF超濾

UV紫外線消毒器

水箱

純水和膜處理工藝

在純水處理、尤其是超純水處理工藝中,各種膜處理工藝被廣泛地使用。不同的過濾器能濾除對應(yīng)的雜質(zhì)。

每種膜處理設(shè)備都有各自的進(jìn)水要求,所以,純水處理工藝都是用低級(jí)別的過濾設(shè)備作為高級(jí)別過濾器的前級(jí)。

經(jīng)過RO反滲透的水,其中鹽分被過濾掉,才能測量出水的電阻率出現(xiàn)升高。對于超純水需要二級(jí)反滲透才能滿足要求。
 


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