硅片清洗水處理方案

一、應(yīng)用范圍概述：

電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗電子管生產(chǎn)　電子管陰極涂敷碳酸鹽配液 顯像管和陰極射線管生產(chǎn)配料用純水 黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)　玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水 液晶顯示器的生產(chǎn)　屏面需用純水清洗和用純水配液晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片。

二、典型工藝流程

預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)

預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）(最新工藝)

預(yù)處理－一級反滲透－加藥機（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級反滲透（正電荷反滲膜）－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥17MΩ.CM） (最新工藝)     

預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）(最新工藝)

處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－純水泵－粗混合床－精混合床－紫外線殺菌器－精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)

三、達到標準

純化水標準，注射水標準 顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)（經(jīng)驗數(shù)據(jù)）

集成電路用純水水質(zhì)

國家電子級純水標準

美國SEMI標準

四、設(shè)備特點

為滿足用戶需要，達到符合標準的水質(zhì)，盡可能地減少各級的污染，延長設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量.在工藝設(shè)計上，取達國家自來水標準的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
 
我公司產(chǎn)品

●制取電子工業(yè)生產(chǎn)如單晶硅、半導(dǎo)體、集成電路塊、IC芯片封裝、顯象管、玻殼、液晶顯示器、光學(xué)、光電、熱電廠、冶金、化工、輕工、汽車制造、制藥、醫(yī)療衛(wèi)生等制造工業(yè)用純水。

●單晶硅、半導(dǎo)體、集成電路塊、IC芯片封裝行業(yè)純水設(shè)備、太陽能硅片清洗水設(shè)備

●醫(yī)藥行業(yè)用水：制藥、制劑工藝用水，醫(yī)療血液透析、生化分析、輸液等。

●制取熱力、火力發(fā)電鍋爐，廠礦企業(yè)中、低壓鍋爐給水所需軟化水、除鹽純水。

●制取飲料行業(yè)的飲用純凈水、蒸餾水、天然水、礦泉水、礦化水、酒類生產(chǎn)白酒勾兌用純水、啤酒糖化投料用水及純生啤酒過濾等。

●賓館、樓宇、社區(qū)優(yōu)質(zhì)供水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)及游泳池水質(zhì)凈化。

●制取電鍍工藝用去離子水、電池（蓄電池、鋰電池）生產(chǎn)工藝的純水，汽車、家用電器、建材產(chǎn)品表面涂裝、清洗 純水，鍍膜玻璃用純水，紡織印染工藝所需的除硬鹽水。

●石油化工如化工反應(yīng)冷卻、化學(xué)藥劑、化肥及精細化工、化妝品制造過程用工藝純水。

●去離子水、CEDI水、超純水、軟化水、廢水（污水）中水回用、電子工業(yè)用超純水、單/多晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線框架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光駝信、電腦元件、電容元器件等生產(chǎn)工業(yè)用純水。

●PCB超純水半導(dǎo)體LED超純水處理設(shè)備太陽能硅片純水處理

純化水、注射用水光學(xué)玻璃超純水清洗，LCD清洗工業(yè)用水 光學(xué)鍍膜水處理