超純水是水中電解質幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質、微生物、微粒、有機物、溶解氣體降至很低程度，電阻值在10兆歐姆以上的水。傳統制備超純水的工藝是采用多級蒸餾法或離子交換法來制取，近年來，隨著膜分離技術的快速發(fā)展。超濾，微濾，反滲透過濾等工藝在水處理領域得到廣泛應用。目前制取超純水的工藝有反滲透，離子交換及EDI（電去離子）。超純水被廣泛應用于電子、電池，電力，化工，電鍍，鍋爐及醫(yī)藥等行業(yè)。                                        

超純水設備工藝流程：

1.原水→增壓泵→砂過濾器→炭過濾器→軟化器(根據地域不同選用)→精密過濾器→RO高壓泵→RO反滲透系統→RO水箱→水泵→混床→終端精密過濾→用水點（水質可以達到10-15MΩ）

2.原水→增壓泵→砂過濾器→炭過濾器→軟化器→精密過濾器→RO高壓泵→RO反滲透系統→混床→終端精密過濾→用水點（水質可以達到10-15MΩ）

3. 原水→增壓泵→砂過濾器→炭過濾器→精密過濾器→RO高壓泵→RO反滲透系統→RO水箱→水泵→混床→終端精密過濾→用水點