1. 廢水來(lái)源

多晶硅、單晶硅生產(chǎn)廢水在電子半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的廢水中具有代表性。

2. 廢水組成及特性

在生產(chǎn)過(guò)程中需要對(duì)含硅原料用氫氟酸、鉻酸、硝酸、鹽酸等強(qiáng)酸進(jìn)行適當(dāng)?shù)母g，因此產(chǎn)生大量酸性廢水，通常采用石灰中和法處理。

3. 出水水質(zhì)

本所工藝能達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)為污水排放標(biāo)準(zhǔn)GB8978-1996中的一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，
即： CODcr≤100mg/l，BOD5≤20mg/l，SS≤70mg/l，PH:6-9等。

4.工藝流程

對(duì)酸性生產(chǎn)廢水廢水處理的沉淀效率、水質(zhì)調(diào)節(jié)、污泥處理等幾個(gè)方面的考慮，以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)目的，典型工藝流程如下：

5、工程實(shí)例

洛陽(yáng)單晶硅有限公司 2×30m3/h酸性廢水處理工程