CS CLEAN SYSTEMS干式工藝廢氣處理
來源:CS CLEAN SYSTEMS 閱讀:1502 更新時(shí)間:2010-09-30 11:40一般來說,晶片處理,太陽能和微機(jī)電(MEMS)工業(yè)所采用的絕大多數(shù)專業(yè)工序氣體都是可自燃的,或有毒的,或有腐蝕性的。
CLEANSORB廢氣處理系統(tǒng)能夠在室溫下通過化學(xué)轉(zhuǎn)換(化學(xué)吸收的)方式清除危險(xiǎn)工藝氣體,生成穩(wěn)定的鹽。 操作無需外部加熱、加濕或其它設(shè)施。 因此,CLEANSORB系統(tǒng)為完全被動式,隨時(shí)可使用,即使是在斷電或其它設(shè)施無法使用的情況下。
CS CLEAN SYSTEMS的全球客戶能夠享受我們的本地服務(wù),由我們負(fù)責(zé)把使用過的CLEANSORB吸收劑桶收集和重裝填,該吸收劑桶是我們的專利產(chǎn)品,是經(jīng)過聯(lián)合國批準(zhǔn)的可重復(fù)使用運(yùn)輸容器。
多種CLEANSORB型號尺寸可用于滿足從小規(guī)模大學(xué)研究員到全天候晶片制造的不同客戶的需求。
CLEANSORB Stand Alone系列
排氣凈化器
專為小型研究室設(shè)計(jì)的獨(dú)立藥桶,無需氣柜和或監(jiān)控設(shè)備。
CLEANSORB LABLINE系列
適用于研究室的排氣凈化器,
安裝在小型柜子內(nèi)的迷你 型CLEANSORB 干式吸收劑桶。 被動操作的LABLINE設(shè)備永遠(yuǎn)處于就位狀態(tài),不需要在每臺新設(shè)備運(yùn)行之前啟動。 因此,它非常適用于無規(guī)律性的研發(fā)項(xiàng)目。 我們的產(chǎn)品具有更長的吸收時(shí)間,往往長達(dá)數(shù)年。
CLEANSORB BASE LINE系列
系列是一種不需要控制電子的智慧設(shè)計(jì)。它是一種手操作的堅(jiān)固基本模型,為對成本敏感性高的應(yīng)用方面的最佳選擇
CLEANSORB SC 系列
單桶排氣凈化器
這是最適用于實(shí)驗(yàn)和大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境用的廢氣清除的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。 其操作簡單,操作員只需少許培訓(xùn)即可操作。 安裝設(shè)施的供應(yīng)要求極少, 幾乎全面保修。
CLEANSORB DC 系列
雙桶排氣凈化器
雙桶("DC")的設(shè)計(jì)可帶來無間斷的運(yùn)行: 在一桶被拆下重新裝填時(shí),另一桶可以繼續(xù)操作使用, 使該系統(tǒng)保持著100%可靠性的記錄,即使是在最嚴(yán)酷的工藝應(yīng)用條件下也如此。 CS CLEAN SYSTEMS保證17000小時(shí)的MTBF。