基于SMU數(shù)字源表的霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)
來源：武漢普賽斯儀表有限公司 閱讀：708 更新時間：2025-01-20 11:32半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)是表征和分析半導(dǎo)體材料的重要手段，可根據(jù)霍爾系數(shù)的符號判斷材料的導(dǎo)電類型；魻栃(yīng)本質(zhì)上是運動的帶電粒子在磁場中受洛侖茲力作用引起的偏轉(zhuǎn)，當帶電粒子（電子或空穴）被約束在固體材料中，這種偏轉(zhuǎn)就導(dǎo)致在垂直于電流和磁場的方向上產(chǎn)生正負電荷的聚積，形成附加的橫向電場。
根據(jù)霍爾系數(shù)及其與溫度的關(guān)系可以計算載流子的濃度，以及載流子濃度同溫度的關(guān)系，由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質(zhì)電離能；通過霍爾系數(shù)和電阻率的聯(lián)合測量能夠確定載流子的遷移率，用微分霍爾效應(yīng)法可測縱向載流子濃度分布；測量低溫霍爾效應(yīng)可以確定雜質(zhì)補償度。與其他測試不同的是霍爾參數(shù)測試中測試點多、 連接繁瑣，計算量大，需外加溫度和磁場環(huán)境等特點，在此前提下，手動測試是不可能完成的。
普賽斯儀表開發(fā)的霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)可以實現(xiàn)幾千到至幾萬點的多參數(shù)自動切換測量，系統(tǒng)由S系列國產(chǎn)源表，2700矩陣開關(guān)和S型測試軟件等組成？稍诓煌拇艌觥囟群碗娏飨赂鶕(jù)測試結(jié)果計算出電阻率、霍爾系數(shù)、載流子濃度和霍爾遷移率，并繪制曲線圖。在半導(dǎo)體制程的晶圓基片和離子注入等階段，或者封裝好的霍爾器件需要做霍爾效應(yīng)的測試。
需要測試的參數(shù)：
電阻率
霍爾系數(shù)
載流子濃度
霍爾遷移率特性曲線
范德堡法
需要的儀器列表：
國產(chǎn)S型源表
開關(guān)
變溫器
可變磁場
軟件
