空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達到sub-ppb級

特點：

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

應用：

潔凈間污染物監(jiān)測

過濾器狀態(tài)監(jiān)測

加工過程全組份測量診斷污染物
 

在新風空調(diào)箱（MUA）、高效過濾器（FFU）、生產(chǎn)機臺上方SWIF下方安裝化學過濾器，實際生產(chǎn)過程中過濾器的維護和更換，如果太早或者太遲都會引起產(chǎn)品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產(chǎn)事故，停產(chǎn)。

帶有16通道的 阿瑞斯-μVOC  系統(tǒng)可以監(jiān)測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當進來的氣體不符合過濾標準時采樣點位于進風系統(tǒng)上游；當吸收能力耗盡時采樣點位于下游。

工作原理：
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術，這種技術依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，獨特的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達到sub-ppb檢測限。