DKG-ONE CF4 氣態(tài)分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析儀
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人氣：3201 發(fā)布時間：2020-05-26 10:46 關(guān)鍵詞：CF4泄漏分析儀 四氟化碳檢測 分子污染物檢測 潔凈室CF4檢測儀 半導(dǎo)體CF4檢測儀 產(chǎn)品型號：DKG-ONE 應(yīng)用領(lǐng)域：大氣控制 產(chǎn)品價格： 想了解更多產(chǎn)品詳情，請 |
技術(shù)應(yīng)用
l GASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。
l 運行條件
溫度范圍：0℃…+49℃
濕度：無凝露
壓力范圍：750mbar-1050 mbar
防塵/水等級：IP20 (IEC 529)
l 儲存條件
溫度范圍：-20 ℃ ~+60 ℃
l 樣品氣體條件
溫度范圍：0 ~ +49 °C
濕度：無凝露，溫度達(dá)35°C時最大相對濕度80%，溫度達(dá)49°C時線性下降至35%
壓力：750 mbar…1050 mbar
氣流：約1L/min
顆粒物< 1 μm
測量參數(shù)
l 響應(yīng)時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時間和采樣設(shè)定從大約15秒到幾分鐘不等
l 監(jiān)測下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb
l 動態(tài)量程：5個數(shù)量級（檢測下限的100,000倍)
l 重復(fù)性：運行條件下，校準(zhǔn)濃度重復(fù)性小于1%
l 準(zhǔn)確度：校準(zhǔn)濃度下好于5%，受限于校準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確度
l 溫度穩(wěn)定性：在運行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會導(dǎo)致漂移
l 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會導(dǎo)致漂移
可靠的監(jiān)測
l 高靈敏度的GASERA ONE CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長期高穩(wěn)定性。GASERA ONE CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監(jiān)測儀等，整合在一個機(jī)柜里。
優(yōu)勢
l 準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制
l 快速的響應(yīng)時間，以捕捉急速上升的濃度
l 獨立運行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵
l 無耗材或者化學(xué)試劑
l 短光程，單點校準(zhǔn)也可達(dá)到業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的動態(tài)量程
l 直接吸收測量，無漂移
l 校準(zhǔn)間隔長（可達(dá)數(shù)年）
l 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾
特點
l 高選擇性的監(jiān)測痕量水平的CF4
l 檢測下限(LoD)低于0.1 ppb
l 響應(yīng)時間可設(shè)置，從10秒到幾分鐘
l 動態(tài)范圍寬，運行穩(wěn)定
l 無耗材
l 低樣品量（幾ml）
l 內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)
l 重新校準(zhǔn)間隔長（幾個月）
l 直觀的用戶界面
l 內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果
l 可通過局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作
