處理效果好，COD去除率高達50%～80%。

運行成本低，臭氧投加量與去除COD總量的比值為1～2（視不同污染因子而定），大幅降低了臭氧投加量。以紹興水處理發(fā)展有限公司印染廢水深度處理為例，將其印染廢水二沉池出水COD由150mg/L去除至60mg/L，其運行成本約為1.5元/噸水。

反應速度快，大幅降低了反應器的體積。反應過程有大量的羥基自由基產生，其與大多數(shù)有機物反應的速率常數(shù)在108M-1·S-1--1010M-1·S-1。

尾氣內部自行處理不會產生二次污染，污泥產量極低。金屬離子溶出微量，不影響處理水質，易于操作管理，同時不需要引入其它能量，減少了工程造價。同時污泥產量極低。

可提高廢水的可生化性。有效破壞不飽和結構，顯著提高廢水可生化性。

應用范圍廣，幾乎所有的污水都可以采用。

100%有效成分，使用壽命長。

對如苯胺、硝基苯、鄰苯二甲酸類等含有苯環(huán)、胺基、偶氮等基團的有毒有機污染物,以及難以生物降解的物質處理效果明顯。